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熱場材料創(chuàng)新中心

編號：

名稱： 熱場材料創(chuàng)新中心

領(lǐng)域： 材料科學(xué)

成果形式：

投資額：萬

案例數(shù)：

技術(shù)階段： 概念階段

合作方式：

方案詳述

熱場材料創(chuàng)新中心

熱場材料是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵基礎(chǔ)材料之一，在單晶硅生長、多晶硅生長、碳化硅單晶生長、半導(dǎo)體外延生長等環(huán)節(jié)發(fā)揮重要作用，其中的高端產(chǎn)品至今仍為美、日、德等國外企業(yè)所壟斷。甬江實驗室熱場材料創(chuàng)新中心致力于解決熱場材料材料 “卡脖子”問題，近期聚焦碳化硅涂層材料（用于外延）、碳化鉭涂層材料（用于碳化硅單晶生長）和整體碳化硅材料（用于刻蝕）等的基礎(chǔ)科學(xué)問題和應(yīng)用研究。

中心通過研發(fā)解決了碳化硅涂層材料易于剝落、壽命不足的問題，相關(guān)產(chǎn)品性能已比肩國際領(lǐng)先水平，通過國內(nèi)知名半導(dǎo)體廠商的認(rèn)證并形成小規(guī)模銷售。中心同步研發(fā)了碳化鉭涂層材料和整體碳化硅材料樣品，均屬突破國外卡脖子的芯片加工關(guān)鍵部件，已分別送樣給下游客戶進(jìn)行驗證。

技術(shù)優(yōu)勢

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